The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science (한국전자파학회지:전자파기술)

The Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science (한국전자파학회)
권호 표지

RF MEMS 스위치를 이용한 위상 천이기 기술 동향

  • 김광용 (연세대학교 전기전자공학부) ;
  • 이상노 (연세대학교 전기전자공학부) ;
  • 육종관 (연세대학교 전기전자공학부)
  • Published : 2002.04.01
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Abstract

현대의 레이다나 통신 시스템에 있어 위상 배열안테나는 필수 구성요소이고 이러한 위상 배열 안테나에는 수 천개의 독립적인 위상제어기가 사용되어지고 있다. 따라서 대량생산이 가능하면서도 성능이 우수한 저손실, 저가격의 True-Time Delay (TTD)를 지원하는 위상천이기가 크게 요구되고 있는 실정이다. 최근 몇 년 동안 MEMS 공정을 이용한 저손실 RF 스위칭 소자와 가변 캐패시터가 성공적으로 개발되었으며 이러한 저손실의 MEMS 스위칭 소자를 이용한 위상천이기 구현이 가능하게 되었다. 본 논문에서는 크기나 전력소모, 삽입손실 등에서 우수한 고주파 특성을 갖는 RF MEMS (Micro-Electro Mechanical System) 스위치에 대해서 간략히 언급하고 이를 이용한 위상천이기와 기존의 위상천이기를 비교 분석하였다.

Keywords

References

  1. A. G. Fox, 'An Adjustable Waveguide Phase Changer', Proc, IRE, vol. 35, pp. 1489-1498, Dec. 1947
  2. F. Reggia, and E. G. Spencer, 'A New technique in Ferrite Phase ShiRing for Beam Scanning of Microwave Antennas', Proc. IRE, vol. 45, pp. 1510-1517, Nov. 1957
  3. Hector J. De Los Santos, 'MEMS for RF/Microwave Wireless Applications: The Next Wave Part II', Microwave JournaI, vol. 44, no. 7, Jul. 2001
  4. P. Stenger, M. Sarantos, E. Niehenke, H Fudem, C. Schwerdt, F. Kuss, D. Strack, G. Hall, and J. Masti, 'A miniature, MMIC one Watt W-band solid-state transmitter', IEEE MTT-S Dig., pp. 431-434, 1997
  5. S. Weinreb, W. Berk, S. Duncan, and N. Byer, 'Monolithic varactor 360' phase shifters for 755-110 GHz', Int. Semi-Device Conf. Dig., Dec. 1993
  6. B. Pillans, S. Eshelman, A. Malczewski, and C Goldsmith, 'Ka-Band RF MEMS Phase Shifters', IEEE Microwave and Guided Wave Lett., vol. 9, no. 12, Dec. 1999
  7. N. Scott Barker and Gabriel M. Rebeiz 'Distributed MEMS True-Time Delay Phase Shifters and Wide-Band Switches', IEEE Trans. on MTT, vol. 46, no. 11, Nov. 1998
  8. B. R. Norvell, et al., 'MicroElectroM-echanical switch (MEMS) Technology Applied to Electronically Scanned A-rrays for Space Based Radar', IEEE Aerospace Con., vol. 3, pp. 239-247. 1999
  9. K. E. Peterson, 'Micromechanical Membrane Switches on silicon', IBM Journal of Research and Development, vol. 23, no. 4, PP. 376-385, Jul. 1979 https://doi.org/10.1147/rd.234.0376
  10. J. J. Yao and M. F. Chang, 'A Surface Micromachined Miniature Switch for Telecommunications Applicati-ons with Signal Frequencies from DC up to 4 GHz', transducers '95, pp. 384-387, Jun. 1995
  11. L. E. Larson, R. H. Hackett, M. A. Melendes, and R. F. Lohr, 'Micro- machined Microwave Actuator (MIMAC) Technology-A New Tuning Approach for Microwave Integrated Circuits', IEEE MTT-S, pp. 27-30, Jun. 1991
  12. C. Goldsmith, T. H. Lin, B. Powers, W, R. Wu, B. Norvell, 'Micromechanical Membrane Switches for Microwave Applications,' IEEE MTT-S, pp. 91-94, May 1995
  13. R. Isom, M. Hawkins, J. Richins, S. McEwan, and M. Iskander, 'Comparative Evaluation of MEMS and Ferro-electric Technologies in Phase Sh-ifter Design', IEEE AP- S, vol. 2, pp.808-811, 2000
  14. Andrea Borgioli, Yu Liu, Amit and S. Nagra, 'Low-Loss Distributed MEMS Phase shifter', IEEE Microwave and Guided Wave Lett., vol. 10, no. 1, Jan. 2000
  15. Joseph S. Hayden, Charles L. Goldsmith, and Gabriel M. Rebeiz, '2 and 4-Bit DC-18GHz Microstrip MEMS Distributed Phase Shifters',IEEE MTT-S Dig., pp. 219-222, 2001
  16. A. Malczewski, S. Eshelman, B. Pillans, C. L. Goldsmith, 'X-Band RF MEMS Phase Shifters for Phased Array Applications' IEEE Microwave and Guided Wave Lett., vol. 9, no. 12, Dec. 1999
  17. B. Pillans, S. Eshelman, A. Malczewski, J. Ehmke, and C. L. Goldsmith 'Ka-Band RF MEMS Phase ShiRers', IEEE Microwave and Guided Wave Lett., vol. 9, no. 12, Dec. 1999