Air Cleaning Technology (공기청정기술)

Korean Air Cleaning Association (한국공기청정협회)
권호 표지

반도체 공정에 영향을 주는 외기의 AMC(Airborne Molecular Contamination) 오염원 및 제어 시스템

  • 최재흥 (삼성전자㈜ 반도체 기흥공장 양산기획팀)
  • Published : 2001.06.30
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