안경렌즈(CR-39)에의 DLC Hard 코팅에 관한 연구

A Study on DLC Hard Coating in Ocular Lens(CR-39)

PECVD 방법으로 60 Hz 상용전원을 사용하여 발생한 아세틸렌 플라스마로부터 다이아몬드성 탄소박막을 제작하고 Raman 분광에 의하여 D($sp^3$)와 G($sp^2$) 피크를 관측하여 박막의 다이아몬드성 정도를 확인하였고 $sp^3$와 $sp^2$의 비율과 FTIR 결과로부터 박막내의 수소함량의 측정을 통하여 아세틸렌 분압비와의 연관성을 확인하였다.

The a-C:H films have been grown on the glass substrate by PECVD method, where plasma was generated with a 60 Hz line power source. The carbonization is checked from peak intensities of D($sp^3$) and G($sp^2$) peaks in Raman spectra and is analyzed using the Gaussian convolution method of spectrum. Both the bonding strength of C-H and the ratio of $sp^3$ to $sp^2$ in bonding are found to be slightly dependent of partial pressure of $C_2H_2$.