Abstract
The pumping speed and the maximum compression ratio as well as the critical backing pressure as main parameters representing normal and limiting performance of a turbomolecular pump and a compound molecular pump were measured basing on a draft KS of the acceptance test procedure. Characteristics of the molecular pumps of two different kinds were compared and some points for improving regulations of the test procedure were proposed.
터보분자펌프와 복합분자펌프의 배기성능을 나타내는 가장 중요한 항목인 배기속도 및 최대압축비와 함께 극한성능을 나타내는 임계배압을 현재 마련되어 있는 KS규격(안)을 준용하여 측정했다. 두 펌프의 성능이 어떤 점에서 차이가 나는지 비교하고 성능평가 절차에 대해 몇 가지 개선점을 제시했다.