마이크로 압력센서 개발동향 및 그 전망

  • 박효덕 (전자부펌연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 김건년 (전자부펌연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 이유진 (전자부펌연구원 마이크로머신연구센터)
  • 발행 : 2001.10.01

초록

키워드

참고문헌

  1. Sensor Business News Brazk's Forcast Commercial MEMS Market