마이크로 압력센서 개발동향 및 그 전망

  • 박효덕 (전자부펌연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 김건년 (전자부펌연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 이유진 (전자부펌연구원 마이크로머신연구센터)
  • Published : 2001.10.01

Abstract

Keywords

References

  1. Sensor Business News Brazk's Forcast Commercial MEMS Market