The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

MEMS 기술과 정밀기계산업

  • Published : 2001.03.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

초소형의 전자 부품, 의료기기 및 광부품 등의 핵심부품들에 관한 산업계와 소비자의 욕구에 발맞추어 과학 기술의 진보가 요구되고 있다. 전통적인 금속 가공 방법과 MEMS와 같은 미세 부품 성형 방법의 중간적인 형태의 Milli-Structure 생산 기술은 근간의 추이에 발맞추어 차세대 국가경쟁력 강화를 위한 핵심기술로 주목받고 있다. 본 논문에서는 미세 부품 성형에 관련하여 국외 개발 동향을 검토하고 국내의 연구 상황을 본 연구팀의 연구를 위주로 하여 미세 소성 가공과 미세 기계 가공으로 분류하여 검토해 보기로 한다.

Keywords

References

  1. Toshiba Review v.51 no.7 Trends in Fine Mechanism Products Y. Kubota
  2. Milli-Structure 생산기술개발, 산업자원부 1차년도 보고서 조남선(외)
  3. J. of the JSTP v.37 no.430 Development of Three-Dimensional Microcomponent Forming Press Machine I. Aoki;T. Takahashi;H. Ueno;T. Higuchi
  4. J. of JSTP v.38 no.440 Development of Features of Super Micro Mill K. Kuroda;K. Nakasuji;Y. Imamura;C. Hayashi
  5. Proc. The 5th Int. Conference on Technology of Plasticity v.2 Micro-spinning Technology for Tubular Products M. Saito
  6. Proc. The 3rd Int. Micro machine Symposium Microforming and Fabrication of Micromachines with Amorphous Alloys Y. Saotome
  7. Riken Symposium v.5 Three Dimensional Micro Fabrication by Precision Cutting Technique Y. Yamagata
  8. JSPE v.62 no.8 Machining of Micro Parts by Ultra-precision Milling Machine Y. Takeuchi;M. Nishie;K. Sawada;T. Sata
  9. J. of Micromechanics and Microengineering v.1 no.2 Surface Micromachined Mechanics and Micromotors M. Mehregany;Y. C. Tai
  10. 미세박판성형기술개발, 1차년도 보고서 오수익(외)
  11. 미세체적성형기술개발, 1차년도 보고서 나경환(외)
  12. 미세금형가공기술개발, 1차년도 보고서 이응숙(외)