Abstract
We prove that 3-D profile mapping using white light interferometry has systematic errors caused by aberrations of the optimal system. The tilt of an object invokes an offset between the object and the reference ray, which eventually makes the aberration cancel incompletely. The fringe peak of a white light interferogram is mainly affected by the aberration effect while the envelope peak remains stable. By the difference between the two peaks, it is easily confirmed how much the error existed in the fringe peak. Experimental results prove that the error caused by aberration is varied by object tilt, microscope NA, optics alignment within the range of $\pm$50nm.
간섭계의 수차는 물체광과 기준광이 서로 상쇄하는 것으로 알려져 있지만, 물체가 기울어진 경우 완벽한 상쇄가 이루어지지 않아 간섭무늬에 영향을 준다. 본 논문에서는 수치 해석을 통해 이 현상이 백색광 주사 간섭무늬의 두 정점 중, 위상 정점에 직접적인 영향을 주어 오차로 작용함을 보인다. 위상 정점은 가시도 정점에 비하여 높은 분해능과 외란에 대해 강인한 반면, 광학계의 수차에 의해 차수 계산의 부정확함이 유발되고, 측정 정밀도가 떨어지는 단점을 갖는다. 두 정점의 차이 값 계산을 실험한 결과, 위상 정점은 100nm 수준의 오차를 갖고, 특히 그 오차가 광학계의 정렬 오차에 기인함을 보인다.
