Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회논문지)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Electrical Properties of PZT Thin Films Deposited on the Ru/$RuO_2$ Metal/Oxide Hybrid Electrodes

Ru/$RuO_2$ 금속/산화물 이중전극 위에 증착한 PZT 박막의 전기적 특성

  • 정규원 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
  • 박영 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
  • 송준태 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부)
  • Published : 2001.04.01
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Abstract

PZT thin films (3500$\AA$) have been prepard on the Ru/Ru $O_2$ and Ru $O_2$ bottom electrodes with a RF magnetron sputtering system using P $b_{1.05}$(Z $r_{0.52}$, $Ti_{0.48}$) $O_3$ ceramic target. Ru/Ru $O_2$ bottom electrode was fabricated by in-situ processing controlled the $O_2$ partial pressure. The PZT thin films deposited on the Ru/Ru $O_2$ bottom electrode were preferred oriented (101) plane. The PZT thin films deposited on the Ru/Ru $O_2$ bottom electrodes showed better electrical properties than those with Ru $O_2$ bottom electrodes because Ru $O_2$ prevented oxygen vacancies and impurities from existing withing the interface and substrate.e.

Keywords

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