Journal of the Korean Ceramic Society (한국세라믹학회지)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Preparation of PZT(52/48) Piezoelectric Thick Film by Screen Printing Method

스크린 인쇄법에 의한 PZT(52/48) 압전후막의 제조

  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) ;
  • 김용범 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 2001.08.01
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Abstract

스크린 인쇄법에 의해 Si 기판에 PZT 후막의 제조에 있어서 주요 문제점은 낮은 소결밀도 및 PZT 후막과 Si 기판과의 반응현상이다. 이러한 현상을 억제하기 위해 본 연구에서는 스크린 인쇄법 및 PZT sol-gel 처리법의 혼합된 방법을 채택하여 Pt/TiO$_2$/YSZ/SiO$_2$/Si(100) 기판에 Zr/Ti 비가 52/48인 PZT 후막을 제조하였으며, 소결온도에 따른 잔류분극(P$_{r}$), 유전상수($\varepsilon$$_{r}$) 및 압전상수(d$_{33}$)를 측정하였다. 인쇄된 PZT 후막에 졸 처리함으로써 단순히 인쇄된 후막에 비해 전기적 특성이 증진된 결과를 얻었다.다.

Keywords

References

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