압전특성의 마이크로액추에이터 응용연구

  • 김태송 (한국과학기술연구원) ;
  • 오명환 (한국과학기술연구원) ;
  • 박종호 (지능형 마이크로시스템 연구사업단)
  • Published : 2001.02.01