Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회논문지)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Improvement of Pad Lifetime using POU (Point of Use) Slurry Filter and High Spray Method of De-Ionized Water

POU 슬러리 필터와 탈이온수의 고분사법에 의한 패드수명의 개선

  • 박성우 (대불대학교 전기공학과) ;
  • 김상용 (아남 반도체(주) FAB 사업부) ;
  • 서용진 (대불대학교 전기공학과)
  • Published : 2001.09.01

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Abstract

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