한국안광학회지 (Journal of Korean Ophthalmic Optics Society)
- 제5권2호
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- Pages.193-199
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- 2000
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- 1226-5012(pISSN)
다이아몬드성 탄소 박막의 특성
Characteristics of Diamond-like Carbon Thin Films
- Kang, Sung Soo (Department of Ophthalmic Optics, Daegu Polytechnic College) ;
- Lee, Won Jin (Department of Ophthalmic Optics, Daegu Polytechnic College) ;
- Park, Hae Jong (Department of Ophthalmic Optics, Sunchon Chongam College)
- 발행 : 2000.12.31
초록
수소화된 비정질 탄소 박막은 PECVD 방법으로 제작하였으며 박막의 증착률은 아세틸렌 가스의 함량에 의존하였다. 이것은 메탄 기체를 사용하였을 때와 비교해 조금 높았다. 박막의 광학적 밴드 갭은 1.4~1.8eV였으며 아세틸렌 함량에 밀접한 연관성을 보여주었다. Raman과 FTIR 분광에 의하여
The a-C : H films have been grown on the glass substrate by PECVD method, where plasma was generated with a 60 Hz line power source. The growth rate of films is found to be dependent of the partial pressure of
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