Internal Cylindrical Grinding with Super Abrasive Wheel and Electrolytic In- process Dressing

ELID를 이용한 초미립 숫돌의 원통내면연삭

  • Published : 2000.04.01

Abstract

전해 인프로세스 드레싱(ELID)의 응용기술로써 간헐적 드레싱(ELID II) 및 무전극 드레싱(ELID III)이 원통내면 마무리 연삭에 이용되고 있다. 주철본드(CIB-D) 및 메탈레진본드 다이아몬드 숫돌(HRB-D)이 이 방식들에 사용되고 있다. 경면 가공에 있어서 이 두방식은 미립의 숫돌이용으로 일반연삭기에 정밀부속 장치의 보완없이 이용될 수 있다. ELID II 연삭에서 CIB-D숫돌은 파이프 형상의 전극에 의하여 간헐적으로 드레싱되고, 반면에 MRB-D 숫돌은 인프로세스 드레싱 되며 전극은 필요로 하지 않는다. 본 연구에서는 ELID II 및 ELID III 방식에 있어서, 연삭조건 및 연삭입자크기에 대한 연삭특성을 비교검토 하였다. 그 결과, ELID II, III방식 공히 대단히 작은 표면거칠기를 갖는 경면이 얻어짐을 확인하였다.

Keywords

References

  1. Ohmori, H., and Nakagawa, T., 'Mirror Surface Grinding of Silicon Wafers with Electrolytic In-process Dressing,' Annals of the CIRP, Vol. 39, No. 1, pp. 329-332, 1990
  2. Ohmori, H., 'Electrolytic In-process Dressing(ELID) Grinding Technique for Ultraprecision Mirror Surface Machining,' Int. J. Japan Soc. Prec. Eng., Vol. 26, No. 4, pp. 273-278, 1992
  3. Jun, Q., and Ohmori, H. et al., 'High Efficiency and Precision Grinding of ferrite with the Application of (ELID) Electrolytic In-process Dressing,' Int. J. Japan Soc. Prec. Eng., Vol. 33, No. 1, pp. 37-39, 1999
  4. Jun, Q., Ohmori, H. et. al., 'Precision ELID Grinding of Internal Cylindrical Surface,' J. Micro Fabrication & Prec. Manufacturing, in press, 1999