References

1. ULSI Technology C.Y.Chang;S.M.Sze
2. High-purity water preparation T.H.Meltzer
3. Reverse Osmosis W.Byrne
4. Aquatic Chemistry(3rd Ed.) W.Stumm;J.J.Morgan
5. The Nalco Handbook(2nd Ed.) F.N.Kemmer(ed.)
6. Structural Chemistry of Silicates F.Liebau
7. 超純水の科學 半導體基盤技術硏究會(編)
8. 半導體におげる化學計測 石害修一
9. Books of SEMI standard No. 1 Chemical division SEMI suggested guidelines for pure water for semiconductor processing
10. 工業用水 v.410 no.11 イオンクロマトグラフィ一による超純水中の微量イオンの測定 飯田睦子
11. 日本分析化學會第40年會講演旨集 超LSI用有機材料中の微量陰微量ィォンの分析 橋本芳美;遠藤 博
12. 第23回ウルトラクリ一ソテクノロジ一シンボジウム 不純物濃度低減下における化 學增幅型レジストのパタ一ニンク 反川 朗;鼻中泰範
13. 分析化學 v.43 イオソクロマトグラフィ一によるクり一ンテル一ム中の微量アンモニア反びアルガワ金屬イオンの定量 橋本芳美;岡田 章
14. J. Chromatogr. v.546 D.L.Campbell;J.Stillian;S.Carson;R.Joyce;S.Heberling
15. JIS K0556 超純水中の陰イオン試驗方法
16. JIS K0553 超純水中の金屬元素試驗方法
17. 環境と測定技術 v.18;19;19 no.11;1;2 解說 ;イオンクロマトグラフィ一と環境分析 野野村 試
18. 日本化學會篇 他 ; イォソクロァトグラフィ一 武藤義一
19. JIS K0127 イオンクロマトグラフ分析通則
20. Anal. Chem. v.47 H.Small;T.Stevens;W.Bauman
21. J. Chromatogr. v.186 D.T.Gjerde;J.S.Fritz;G.Schmuckler
22. Anal. Chem. v.54 H.Small;T.E.Miller,Jr.
23. イオンクロマトグラフ用オ一トサプレッサSRS取扱說明書 日本ダイオネクス(株)
24. 工業用水 v.410 no.11 浜田尙澍;後藤 武