Polymer Science and Technology
(한국고분자학회지:고분자과학과기술)
Volume 11 Issue 2
/
Pages.237-245
/
2000
/
1225-0260(pISSN)
/
2586-1476(eISSN)
The Polymer Society of Korea (한국고분자학회)
포토 리소그래피용 고분자 재료
최상준
(삼성전자 반도체연구소)
Published : 2000.04.01
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