마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제7권3호
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- Pages.13-17
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- 2000
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
ECR 식각 공정에 따른 층간절연막 폴리이미드의 전기적 특성
Electrical Properties of Interlayer Low Dielectric Polyimide with Electron Cyclotron Resonance Etching Process
초록
ECR (Electron Cyclotron Resonance) 식각 공정에 따른 층간 절연막 폴리이미드의 전기적 특성에 관하여 연구하였다. 알루미늄 식각시 일반적으로 사용되는
The electrical properties of polyimide for interlayer dielectric applications are investigated with ECR (Electron Cyclotron Resonance) etching process. ECR etching with
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