A Study on the Design of the Micro-Mirror Considering the Squeeze Effects of Gas Film

공기막의 스퀴즈효과를 고려한 마이크로미러 설계에 관한 연구

In this paper, the damping characteristics for electrostatically driven micro mirror which have deep grooves on their driving electrodes were investigated. A coupled simulation of gas flow and structural displacement of the micro mirror using the Finite-Element-Method is applied to this. The damping farce is caused by squeeze action of the gas film between a moving mirror plate and the electrodes. The grooves decrease the damping force and enable the moving plate to be driven at high speed and low driving voltage.

본 연구에서는 전극판에 깊은 홈을 가지고 전기적으로 구동 되는 마이크로미러에 대한 감쇠 특성을 고찰하였다. 유한요소법을 사용하여 마이크로미러의 공기막과 구조물 변위가 커플된 시뮬레이션이 본 연구에 적용되었다. 감쇠력은 구동 되는 미러판과 전극판 사이 공기막의 스퀴즈효과에 의해 발생한다. 전극판의 홈은 감쇠력을 감소시키며, 미러판을 낮은 전압dptj 고속 구동할 수 있도록 하여주며 정밀제어가 가능하도록 하여 준다.