전기화학회지 (Journal of the Korean Electrochemical Society)
- 제3권2호
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- Pages.115-120
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- 2000
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- 1229-1935(pISSN)
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- 2288-9000(eISSN)
DOI QR Code
In-situ 스퍼터링을 이용한 잔고상 박막 전지의 제작 및 전기화학적 특성 평가
Fabrication and Electrochemical Characterization of All Solid-State Thin Film Micro-Battery by in-situ Sputtering
- 전은정 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 남상철 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
- 조원일 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
- 신영화 (경원대학교 전기전자공학과)
- Jeon Eun Jeong (Thin Film Technology Research Center, KIST) ;
- Yoon Young Soo (Thin Film Technology Research Center, KIST) ;
- Nam Sang Cheol (Battery and Fuel Cell Center, KIST) ;
- Cho Won Il (Battery and Fuel Cell Center, KIST) ;
- Shin Young Wha (Department of Electrical and Electronic Engineering, Kyungwon University)
- 발행 : 2000.05.01
초록
양극 물질로 산화바나듐 박막, 고체전해질로는 LiPON 박막 그리고 음극 물질로는 리튬 금속 박막을 선택하여
All solid-state thin film micro-batteries consisting of lithium metal anode, an amorphous LiPON electrolyte and cathode of vanadium oxide have been fabricated and characterized, which were fabricated with cell structure of
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