Journal of the Korean Electrochemical Society (전기화학회지)

The Korean Electrochemical Society (한국전기화학회)
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Fabrication of ITO Thin Film by Sol-Gel Method

Sol-Gel 법을 이용한 ITO박막의 제조

  • Kim Gie-Hong (Dept. of Metallurgical Engineering and Materials Science Hongik University) ;
  • Lee Jae-Ho (Dept. of Metallurgical Engineering and Materials Science Hongik University) ;
  • Kim Young-Hwan (Dept. of Metallurgical Engineering and Materials Science Hongik University)
  • 김지홍 (홍익대학교 금속 재료공학과) ;
  • 이재호 (홍익대학교 금속 재료공학과) ;
  • 김영환 (홍익대학교 금속 재료공학과)
  • Published : 2000.02.01
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Abstract

Transparent conducting ITO thin films have been studied and developed for the solar cell substrate or LCD substrate. ITO thin film has been mostly fabricated by high cost sputtering method. In this research, sol-gel method is applied to fabricate ITO thin film at lower cost. The research is focused on the establishment of process condition and development of precursor. Organic sol was made of indium tri-isopropoxide dissolved in ethylene glycol monoethyl ether. The hydrolysis was controled by addition of acetyl acetone. Tin(IV) chloride was added as dopant. Inorganic sol was made of indium acetate dissolve din normal propanol. Spin coating technique was applied to coat ITO on borosilicate glass. The resistivity of ITO thin film was approximately $0.01\Omega{\cdot}cm$ and the transmittance is higher than $90\%$ in a visible range.

가시광선 영역에서의 높은 투과성과 우수한 전도성을 가진 전도성 ITO박막은 그 전기적 광학적 특성에 의해서 태양 전기 기판의 전극 재료나 Display소자의 투명전극으로 개발되고 있다. 이들의 제작은 현재 sputtering이 주종을 이루나 이들의 높은 생산비를 절감할 목적으로 sol-ge떫을 이용하여 ITO박막을 만들었다. ITO제조용 sol은 유기질 sol로는 indium tri-iso-propoxide를 ethylene glycol monoethyl ether에 녹인 후 $SnCl_4$를 dopant로 사용하여 제조하였다. Acetyl acetone을 넣어 sol이 수화되는 현상을 억제하였다. 무기질 sol로는 indium acetate를 n-propanol에 용해하여 사용하였다. Spin 방법을 이용하여 코팅하였으며 $500^{\circ}C$에서 열처리하였다. 가시 광선 영역에서의 투과도는 $90\%$ 이상을 얻었으며 비저항은 $0.01\Omega{\cdot}cm$가 측정되었다.

Keywords