센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제9권3호
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- Pages.171-176
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- 2000
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
마이크로 열 센서용 측온저항체 온도센서의 제작 및 특성
The Fabrication and Characteristics of RTD(Resistance Thermometer Device) for Micro Thermal Sensors
- Chung, Gwiy-Sang (School of Information & Communication Eng., Dongseo Univ.) ;
- Hong, Seog-Woo (MEMS Lab., SAIT)
- 발행 : 2000.05.31
초록
반응성 스퍼터링과 고주파 마그네트론 스퍼터링으로 각각 증착된 MgO 박막과 그 위에 증착된 백금박막의 열처리 온도 및 시간에 따른 물리적, 전기적 특성을 4침 탐침기, 주사전자현미경 및 X선 회절법을 이용하여 분석하였다.
The physical and electrical characteristics of MgO and Pt thin-films on it, deposited by reactive sputtering and rf magnetron sputtering, respectively, were analyzed with annealing temperature and time by four-point probe, SEM and XRD. Under annealing conditions of
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