센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제9권2호
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- Pages.146-152
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- 2000
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
Li이 도핑된 ZnO 박막의 구조적 및 전기적 특성
The Structural and Electrical Properties of Li doped ZnO Thin Films
- 유권규 (경상대학교 전기전자공학부 및 항공기부품기술연구센터) ;
- 권대혁 (경일대학교 전자공학과) ;
- 전춘배 (연암공업대학 전자공학과) ;
- 김정규 (경상대학교 전기전자공학부 및 항공기부품기술연구센터) ;
- 박기철 (경상대학교 전기전자공학부 및 항공기부품기술연구센터)
- You, Gyeon-Gue (School of Electronic and Electrical Eng., the Research Center for Aircraft Parts Technology, Gyeongsang National Univ.) ;
- Kwon, Dae-Hyuk (Dept. of Electonic Eng., Kyungil Univ.) ;
- Jun, Choon-Bae (Dept. of Electonic Eng., Yonam College of Eng.) ;
- Kim, Jeong-Gyoo (School of Electronic and Electrical Eng., the Research Center for Aircraft Parts Technology, Gyeongsang National Univ.) ;
- Park, Ki-Cheol (School of Electronic and Electrical Eng., the Research Center for Aircraft Parts Technology, Gyeongsang National Univ.)
- 발행 : 2000.03.31
초록
고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 Li이 도핑된 ZnO(ZnO:Li) 박막을 코닝 7059 글라스 기판상에 증착하였다. 도핑량은 스퍼터링용 ZnO타겟내의
Lithium doped zinc oxide(ZnO:Li) films are prepared by rf magnetron sputtering on Corning 7059 glass substrate using specifically designed ZnO targets containing different amount of
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