센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제9권5호
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- Pages.357-364
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- 2000
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
RF Magnetron Sputtering 법으로 제조된 $LaFeO_3$ 박막의 가스감지 특성
Gas sensing properties of $LaFeO_3$ thin films fabricated by RF magnetron sputtering method
- 장재영 (경상대학교 전기전자공학부 자동차 및 컴퓨터 응용 기술 연구소) ;
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마대영
(경상대학교 전기전자공학부 자동차 및 컴퓨터 응용 기술 연구소) ;
- 박기철 (경상대학교 전기전자공학부 자동차 및 컴퓨터 응용 기술 연구소) ;
-
김정규
(경상대학교 전기전자공학부 자동차 및 컴퓨터 응용 기술 연구소)
- Jang, Jae-Young (Division of Electrical and Electronics Eng., Gyeongsang National University) ;
-
Ma, Dae-Young
(Division of Electrical and Electronics Eng., Gyeongsang National University) ;
- Park, Ki-Cheol (Division of Electrical and Electronics Eng., Gyeongsang National University) ;
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Kim, Jeong-Gyoo
(Division of Electrical and Electronics Eng., Gyeongsang National University)
- 발행 : 2000.09.30
초록
R.F. magnetron sputtering에 의해
The structural, electrical and gas sensing characteristics of
키워드