한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
- 제9권12호
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- Pages.1263-1269
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- 1999
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- 1225-0562(pISSN)
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- 2287-7258(eISSN)
반사층을 이용한 FBAR(SMR)의 제조
Fabrication of FBAR (SMR) using Reflector
- 이재빈 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 곽상현 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 김형준 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 박희대 (한국 쌍신전기 주식회사 기술연구소) ;
- 김영식 (한국 쌍신전기 주식회사 기술연구소)
- Lee, Jae-Bin (School of Materials Science and Engineering, Seoul National University) ;
- Kwak, Sang-Hyon (School of Materials Science and Engineering, Seoul National University) ;
- Kim, Hyeong-Joon (School of Materials Science and Engineering, Seoul National University) ;
- Park, Hee-Dae (Research Center, Korea Sangshin Electric Co., LTD) ;
- Kim, Young-Sik (Research Center, Korea Sangshin Electric Co., LTD)
- 발행 : 1999.12.01
초록
본 실험에서는 반사층(reflector)을 이용한 FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator) 즉, SMR (Solidly Mounted Resonator) 제조에 필요한 재료들의 최적 증착 조건을 설정하여, 이를 바탕으로 제조한 SMR의 특성을 보여주었다. SMR은 상하부 전극층, 압전 박막층, 반사층, 기판으로 구성된다. 상하부 전극으로 알루미늄(Al) 금속 박막을 사용하였고 압전 박막층으로 산화아연(ZnO) 박막을 사용하였다. 실리콘(Si) 기판과 하부 전극 사이에 위치하는 반사층은 5층의 이산화규소 (
An FBAR(Solidly Mounted Resonator) was fabricated using reflector layers which prohibit the penetration of bulk acoustic wave into substrate. The SMR consisted of top and bottom electrodes(Al films), a piezoelectric layer (ZnO film), reflector layers(W/
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