Studies on Pressure Dependency and Plasma Stability of See-through Hollow Cathode Glow Discharge

관통형 속 빈 음극관 글로우 방전의 압력 변화에 따른 특성 및 안정도 향상을 위한 연구

  • Lee, Sang Chun (Division of Chemistry and Chemical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Choi, Jin Young (Division of Chemistry and Chemical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Kim, Tae Young (Division of Chemistry and Chemical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Cho, Bum Rae (Department of Material Engineering, Keimyung University)
  • 이상천 (경남대학교 공과대학 정밀화학공학부) ;
  • 최진영 (경남대학교 공과대학 정밀화학공학부) ;
  • 김태영 (경남대학교 공과대학 정밀화학공학부) ;
  • 조범래 (계명대학교 공과대학 재료공학과)
  • Published : 19990600

Abstract

Keywords

References

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