초록
본 논문에서는 진행파를 이용하여 쌍방향으로 움직일 수 있는 새로운 구조의 초음파 리니어 모터를 개발하고, 그 시제품을 제작하였다. 설계과정에서는 유한요소해석법을 이용해 모터구조의 타당성을 검증하였고, 진행파가 왜곡되지 않는 최적구조, 재질, 크기, 경계조건을 결정하였다. 설계 결과에 따라 리니어 모터를 실제로 제작하고, 특성을 평가함으로써 개발된 새로운 구조의 이용 가능성을 확인하였다.
This paper describes design and fabrication of a new bi-directional ultrasonic linear motor working by means of a traveling wave. With the finite element method, we design and verify validity of the new structure, and determine its optimal structure, material, size, and boundary conditions for proper generation of the traveling wave. Based on the results, a prototype of the motor has been fabricated and characterized, which thereby proves practical applicability of the new structure.