마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제6권2호
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- Pages.63-68
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- 1999
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
소성 조건에 따른 WO$_3$ 계 후막센서소자의 제조 및 응답특성
Fabrication and Gas Sensing Properties of WO$_3$ Thick Film Gas Sensor Dependent on Heat-Treatment Condition
초록
가스 감지막의 미세구조와 비화학량론 구조의 변화에 따른 응답특성의 거동을 고찰하기 위하여 소성 조건을 변화시키면서
We have fabricated
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