Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 8 Issue 3A
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- Pages.218-223
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- 1999
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- 1225-8822(pISSN)
The evolution of microstructures and electrical properties of $Y_2O_3$ thin films on si(100) upon annealing treatments
열처리에 따른 $Y_2O_3$ 박막의 미세 구조 변화와 전기적 특성 변화에 대한 고찰
Abstract
We investigated the interfacial reactions between the
Keywords