초록
광 변조량, 광학밀도, 응답시간, 순환전위전류특성을 조사하여 열처리 효과에 따른 $\textrm{MoO}_3$박막의 일렉트로크로믹 특성을 연구하였다. XRD 분석 결과 as-deposited $\textrm{MoO}_3$박막과 $350^{\circ}C$ 이하로 열처리된 박막은 비정질로 밝혀졌으며, $450^{\circ}C$에서열처리한 $\textrm{MoO}_3$박막은 결정질로 나타났다. As-deposited $\textrm{MoO}_3$박막을 사용한 일렉트로크로믹 소자가 열처리된 박막을 사용한 소자에비하여 광변조 특성과 전기화학적 특성에서 좋은 일렉트로크로믹 현상을 보여주었다. $\textrm{MoO}_3$박막의 열처리 온도에 따른 효과는 일렉트로크로믹 특성과 가역변색에서 광변조특성과 전기화학적 특성을 감소시키며, 열화현상을 촉진하는 것으로 나타났다.
The effect of the heat treatment on electrochromic properties of $\textrm{MoO}_3$ thin films is investigated by studing optical modulation, optical density, response time, and cyclic voltammetry. From the results of XRD analysis, heat-treated at $450^{\circ}C$ in air for 1 hour Moo3 thin films are found to be crystalline while as-deposited and heat- treated at low temperature ($\leq\;300^{\circ}C$) film are amorphous. The electrochromic devices using as-deposited $\textrm{MoO}_3$ films exhibit good electrochromic properties compared to those using the heat treated $\textrm{MoO}_3$ films. It has shown that the heat-treatment affected the reversible color change and the electrochromic properties of $\textrm{MoO}_3$ films.