Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)

The Korean Sensors Society (한국센서학회)
권호 표지

Gas sensing characteristics of $LaCoO_3$ thick-films

$LaCoO_3$ 후막의 가스 감지 특성

  • Shin, Jeong-Ho (School of Electronic & Electrical Eng., Gyeongsang National Univ.) ;
  • Jang, Jae-Young (School of Electronic & Electrical Eng., Gyeongsang National Univ.) ;
  • Ma, Tae-Young (School of Electronic & Electrical Eng., Gyeongsang National Univ.) ;
  • Park, Ki-Cheol (School of Electronic & Electrical Eng. & the Research Center for Aircraft Parts Technology, Gyeongsang National Univ.) ;
  • Kim, Jeong-Gyoo (School of Electronic & Electrical Eng. & Research Institute of Industrial Technology, Gyeongsang National Univ.)
  • 신정호 (경상대학교 전기전자공학부) ;
  • 장재영 (경상대학교 전기전자공학부) ;
  • 마대영 (경상대학교 전기전자공학부) ;
  • 박기철 (경상대학교 전기전자공학부 및 항공기 부품기술 연구 센터) ;
  • 김정규 (경상대학교 전기전자공학부 및 생산기술 연구소)
  • Published : 1999.11.30
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

$LaCoO_3$ thick-films for gas sensing layers were prepared on alumina substrate by screen printing method. The sensitivities to $C_4H_{10}$, $NH_3$, NO and CO gases were investigated for different heat treatment temperatures of the films. Their structural properties were examined by X-Ray Diffraction measurements and SEM photographs. The sensitivity of $LaCoO_3$ thick-film to CO gas was much higher than those of $C_4H_{10}$, $NH_3$, and NO gases. The optimal heat treatment and operating temperatures were $800^{\circ}C$ and $150^{\circ}C$, respectively. The sensitivities of $LaCoO_3$ thick-films to 500ppm and 1250ppm CO gas were 72% and 95%, respectively.

스크린 프린팅 법으로 알루미나 기판 위에 $LaCoO_3$ 후막을 형성하여 열처리 온도에 따른 $C_4H_{10}$, $NH_3$, $NO$ 및 CO 가스에 대한 감도를 조사하였다. X-선 분석과 SEM 사진을 통해 $LaCoO_3$ 후막의 구조적 특성을 관찰하였다. 제조한 센서는 $C_4H_{10}$, $NH_3$ NO 가스에 대한 감도보다 CO 가스에 대한 감도가 우수하였다. 후막의 최적 열처리온도와 동작온도는 각각 $800^{\circ}C$ 및 $150^{\circ}C$였다. CO 가스 500ppm과 1250ppm에 대한 감도는 각각 72%와 95%였다.

Keywords