중성자 방사화분석법에의한 반도체 특성조사-I (원리 및 웨이퍼 벌크 분석)

Characterization of Semiconductor Using Neutron Activation Analysis-I (Its Principle and Wafer Bulk Analysis)

  • 김낙배 (한국자원연구소, 분석연구부)
  • Kim, Nak Bae (Analysis Research Division, Korea Institute of Geology, Mining and Materials)
  • 발행 : 1998.08.01