Analysis of Trace Impurities in The Bulk $H_2$ and He Gases by a Cold Concentration Method

저온 농축법에 의한 수소와 헬륨 중의 미량가스 분석

  • Lee, Taeck Hong (Daesung Sanso Co., Ltd., Daesung Cryogenic Research Institute) ;
  • Park, Doo Seon (Daesung Sanso Co., Ltd., Daesung Cryogenic Research Institute) ;
  • Son, Moo Ryong (Daesung Sanso Co., Ltd., Daesung Cryogenic Research Institute)
  • 이택홍 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 박두선 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 손무용 (대성산소(주) 초저온연구소)
  • Published : 19981000

Abstract

Analysis of trace impurities in the gases has been very important with the development of semi-conductor related industry. Particularly, the contamination of the gas handling systems in a semi-conductor plant by the air has been a trouble to the manufacturers. Thus, the analysis of the air components in the system has been a task to the analysts. In this study, we report the analysis data with a expanded uncertainty for the trace impurities of nitrogen and argon in the bulk helium and hydrogen. All data show a good correspondence, exhibiting reliable statistical error ranges.

가스분석에서 극미량 성분분석은 반도체 관련 산업의 발달과 더불어 매우 중요하다. 특히 반도체 생산설비 중 가스공급시스템의 공기성분에 의한 오염은 제조자에게 어려움을 제공해 왔다. 그래서 공기성분의 분석은 반도체의 품질조절에 매우 중요하다. 본 연구에서는 가스분석에서 범용으로 사용되는 열전도도 검출기를 장착한 가스크로마토그래프와 액체질소트랩을 이용하여 헬륨과 수소 중의 질소와 아르곤성분을 분석하였다. 농축법으로 결정된 미지 시료의 농도를 다른 종류의 검출기와 비교 분석하였다. 이 방법에 의해서 결정된 농도는 결정된 확장불확도 범위 내에서 만족할 만한 결과를 보여 주었다.

Keywords

References

  1. The Chemical Instrumentation(3rd Ed.) Strobel, H. A.;Heineman, W. R.
  2. 가스분석 한국표준과학연구원
  3. 월간 반도체 4월호 반도체용 특수가스 박두선;한주탁;손무룡
  4. KS, M1131
  5. 측정불확도 평가 및 표시에 관한 기술기준 개발연구 공업진흥청
  6. KRISS-96-082-ET, 한국표준과학연구원 불확도 표현과 교정성적서 작성 한국표준과학연구원