ICROS (제어로봇시스템학회지)

Institute of Control, Robotics and Systems (제어로봇시스템학회)
권호 표지

MEMS용 다결정실리콘 마이크로머시닝

  • 조동일 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 전국진 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 이상우 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 김종팔 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 박상준 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 이상우 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 이상철 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 김성운 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 박명규 (서울대학교 전기공학부 및 반도체공동연구소)
  • Published : 1998.09.01
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Abstract

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