Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

초전성 PZT 박막을 이용한 microelectromechnical system 소자의 제작

  • 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 1998.02.01
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