Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

RF Helicon Plasma CVD

  • 김경례 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 신재균 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 현준원 (단국대학교 응용물리학과)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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