Journal of the Korean Magnetics Society (한국자기학회지)

The Korean Magnetics Society (한국자기학회)
권호 표지

Magnetoresistance in $Buffer/[CoFe/Cu]_N$Multilayer

$Buffer/[CoFe/Cu]_N$ 다층박막의 자기저항 특성

  • 송은영 (숙명여자대학교 물리학과) ;
  • 오미영 (숙명여자대학교 물리학과) ;
  • 이현주 (숙명여자대학교 물리학과) ;
  • 김경민 (숙명여자대학교 물리학과) ;
  • 김미양 (숙명여자대학교 물리학과) ;
  • 이장로 (숙명여자대학교 물리학과) ;
  • 김희중 (한국과학기술연구원 금속연구부)
  • Published : 1998.08.01
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Abstract

DC magnetron sputtering 방법에 의해 Corning glass 가판 위에 제작한 buffer/[CoFe/Cu]N 형태의 다층작막에 대하여 자기저항비의 비자성층 Cu두께, 기저층 종류(Fe, Cu, Cr, Ta)와 두께, Ardkqfur, 다층 층수 및 열처리 의존성을 조사하였다. 자기저항비는 비자성층 Cu 두께에 따라 진동하였다. 기저층 Fe 및 Cr의 두께가 60$\AA$이고, 층수 N=15, Ardkqfur 5mTorr에서 극대자기저항비 14%를 보였으며 25$0^{\circ}C$까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한 채 더 큰 결정립을 갖게 하여 자기저항비는 증가하였으나 그 이상의 온도에서는 계면 혼합 및 계면 확산에 의한 감소를 나타내었다. Cr기저층 시료가 Fe 기저층 시료보다 열적안정성이 더 좋은 것을 알 수 있었다.

Keywords

References

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