Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology (한국결정성장학회지)

The Korea Association of Crystal Growth (한국결정성장학회)
권호 표지

Synthesis of ultrafine particles and thin films of $SnO_2$ by the spray-ICP technique

Spray-ICP technique에 의한 $SnO_2$미분말 합성 및 박막 제조

  • 김정환 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 박종현 (대주정밀주식회사 기술연구소) ;
  • 김영도 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 신건철 (강원대학교 재료공학과)
  • Published : 1998.06.01
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Abstract

Ultrafine particles of $SnO_2$ or $(Sn,Ti)O_2$ and thin films of $SnO_2$ were synthesized by introducing aqueous tin chloride solution into a high temperature argon inductively coupled plasma (ICP) generated under ambient pressure (the spray-ICP technique). As-deposited $SnO_2$ particles from each concentration of solution were all tetragonal $SnO_2$ crystallline phase and their mean size decreased in proportion to the increase of solution concentration. The mean size of $SnO_2$ particles was in the 10~40 nm range.

ICP(Inductively Coupled Plasma)를 열원으로 출발용액의 농도변화 및 $TiO_2$ 첨가로 $SnO_2$와 $(Sn,Ti)O_2$미분말을 합성하였으며 SnO2 박막을 제조하였다. 각각 합성된 $SnO_2$ 미분말은 모두 tetragonal의 rutile형으로서 입자들의 평균입경은 30nm로 매우 미세하였으며, 좁은 입도분포를 나타내었다. $TiO_2$를 첨가하였을 경우 $SnO_2-TiO_2$ 미분말은 고용체를 이루었으며, 첨가량이 증가함에 따라 결정성은 감소하였다. ICP tail flame으로 fused quartz 기판을 가열하여 (101)면을 주 peak로 하는 $SnO_2$ 박막을 얻었다.

Keywords

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