Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology (한국결정성장학회지)

The Korea Association of Crystal Growth (한국결정성장학회)
권호 표지

Orientational characteristics of PLT thin films with seeding layer prepared by sol-gel method

Sol-gel법으로 제조한 PLT 박막의 seeding layer 도입에 의한 배향 특성

  • 김종국 (경북대학교 무기재료공학과) ;
  • 김철기 (경북대학교 무기재료공학과) ;
  • 김재남 (경북대학교 무기재료공학과) ;
  • 박병옥 (경북대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1998.06.01
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Abstract

Sol-gel법을 이용하여 PbTiO3에 La을 10mol% 도핑한 박막을 bare Si(100)-wafer 위에 스핀 코팅법을 이용하여 제조하였다. 제조된 박막의 열처리 온도에 따른 결정화 거동을 살펴보고, 씨앗층(seeding layer)을 도입하여 박막의 미세구조 및 배향성을 SEM과 XRD로 관찰하였다. 씨앗층없이 일반적으로 제조된 박막의 경우는 우선 배향성을 나타내지 않았으나, 씨앗층을 도입한 경우에는 씨앗층의 두께 및 열처리 시간에 따라 막의 배향성이 달라졌다.

Keywords

References

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