Czochralski crystal growth by the accelerated crystal rotation technique

결정봉 회전 가속화 기법에 의한 초크랄스키 결정 성장

  • 김승태 (한국과학기수원 기계공학과) ;
  • 최정일 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 성형진 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 1998.02.01

Abstract

A laboratory experiment was made of a control of temperature oscillation in Czochralski convection. Numerical computation was also made to delineate the control of temperature oscillation. The suppression of temperature oscillation was achieved by varying the rotation rate of crystal rod ($\Omega=\Omega_0(1+A sin 2{\pi}ft/t_p)$), where A denotes the amplitude of rotation rate and f the frequency factor. Based on the inherent dimesionless time period of temperature oscillation ($t_p$), the suppression rate of temperature oscillation was characterized by the mixed convection parameter ($0.217{\leq}Ra/PrRe^2{\leq}1.658$). The optimal values of A and f were also scrutinized. To understand the suppression mechanism of temperature oscillation, the controls of isotherm($\theta$) and equi-vorticity($\omega$) were investigated.

초크랄스키 대류에서의 온도진동 억제에 대한 실험 및 수치해석 연구가 수행되었다. 결정봉 회전 가속화기법을 초크랄스키 성장에 적용시키기 위해 결정봉 회전가속도를($\Omega=\Omega_0(1+A sin 2{\pi}ft/t_p)$)로 변화시켰다. 여기서 A는 가진증율, f는 가진주파수인자를 나타낸다. 제어이전에 나타나는 고유한 온도진동 주기 ($t_p$)를 근거하여, 무차원 혼합대류인자($0.217{\leq}Ra/PrRe^2{\leq}1.658$)에 온도진동 감소율을 조사하였다. 또한 제어인자 A와 f에 대한 효과를 조사하였다. 용융유동 내의 온도진동 억제 현상을 이해하기 위해 자오면상에 나타나는 온도 및 와도분포가 면밀히 검토되었다.

Keywords

References

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