초록
광학용 유전체 다층박막의 증착시 높은 열로 인해 형성되는 층간확산의 광학적 효과를 연구하였다. 연속적으로 변하는 굴절률 분포함수를 갖고 하나의 부분구조가 주기적으로 반복되는, 다층박막의 광특성 계산방법을 제시한다. 이 방법을 이용하여 Fabry-Perot형 여과막, 넓은 영역에 걸쳐 높은 반사율을 갖는 전반사경 및 반사 방지막에 대해 층간확산이 미치는 영향을 계산하여 투과 및 반사 스펙트럼을 얻었다. 층간확산으로 인하여 전반사경의스펙트럼 대역폭이 줄어들었으며 다층 반사방지막의 경우층의 수가 많을 때 특성이 악화되고 파장에 따른 반사율의 변화가 크게 되었다.
We have studied the optical effects in dielectric multilayer due to the interdiffusion formed during the deposition process. We suggest a numerical method to calculate the optical properties of periodical multilayer thin-films with gradient-index profiles. Using this method the spectral transmittance and reflectance were obtained for Fabry-Perot type filters, broad-band total reflectors and antireflection filters with interdiffusion layers. Interdiffusion reduced the spectral band width of high reflectance in total reflectors, and deteriorated the characteristics of multilayer AR-coatings leading to a large variation of reflectance if the number of the layers is large.