The Ion Generation Characteristics of Charge Neutralizer Applied a Pulse Voltage

펄스전압을 적용한 전하중화장치의 이온발생 특성

Methods and systems to remove static electricity are requested necessarily because the static electricity causes a flammable gas explosion, a fire, reduction of production rate in manufacturing VLSI semiconductor device and so on. In this paper, abrasion and dust contaminant of needle electrode are studied experimentally. And, frequencies and pulse durations of a high frequency pulse source were controlled effectively to minimize the abrasion of needle electrode and control generated numbers of ions. As a result, it is verified experimentally that the ion generation of charge neutralizer increases by using a high frequency pulse source.

정전기는 고집적 반도체소자의 제조공정에서 제품의 제조수율을 감소시키거나, 정전하에 의해 가스폭발이나 화재 등을 일으키는 원인이 되므로 정전기를 제거하기 위한 수단이나 장치가 필수적으로 요구된다. 본 논문에서는 전하중화장치의 사용시간 경과에 따른 침전극 마모 및 분진부착 특성에 대해서 실험적으로 연구하였다. 또한 전하중화장치의 침전극의 마모 최소화와 발생이온량의 정량적인 제어를 위해 인가전원을 종래의 교류전원 대신에 고주파 펄스전원으로 하여 펄스주파수 및 펄스의 시비율을 변화시킴으로서, 펄스전력을 유효하게 제어할 수 있었으며, 또 펄스전원을 사용함으로서 전하중화장치의 이온 발생특성을 크게 할 수 있음을 실험적으로 확인하였다.