한국안광학회지 (Journal of Korean Ophthalmic Optics Society)
- 제2권1호
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- Pages.103-110
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- 1997
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- 1226-5012(pISSN)
수소화된 비정질 탄소 박막의 전기적 특성
Electrical Characteristics Mechanism In a-C : H
- 정진우 (대구산업전문대학 부설 안경광학연구소) ;
- 강성수 (대구산업전문대학 부설 안경광학연구소) ;
- 육도진 (대구산업전문대학 부설 안경광학연구소) ;
- 이원진 (대구산업전문대학 부설 안경광학연구소) ;
- 신재현 (대구산업전문대학 부설 안경광학연구소)
- Jeong, Jin Woo (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College) ;
- Kang, Sung Soo (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College) ;
- Ruck, Do Jin (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College) ;
- Lee, Won Jin (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College) ;
- Shin, Jai Hyun (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College)
- 발행 : 1997.12.31
초록
PECVD 방법으로 제작한 비정질 탄소 박막의 전기적 특성을 조사하였다. 기존에 제시되어 있는 전기전도의 두 가지 모형을 측정결과와 비교하였다. 실험결과 상온에서 제작된 시료는 VRH 모델, 고온에서 제작된 시료는 MPH 모델로서 설명이 가능하였다. 이러한 결과로부터 새로운 전기전도에 대한 모델이 확립되어야 할 것으로 생각한다.
This work presents experimental results on the electrical properties of hydrogenated amorphous carbon films(a-C : H) prepared by PECVD. Conductance of a-C: H was measured as a function of temperatures in the range of 100 to 423K. We studied two a -C: H films: one was well explanied by the Mott's variable range hopping(VRH) rule. But the other sample did not follow it. The conduction data of second sample were well fitted to Shimakawa's multi-phonon hopping(MPH) model according to which conductivity is proportional to Tm with m= 15~17. But, in our samples, m was 10~12.
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