A Study on the molecular structure and molecular weight control of styrene films by plasma polymerization

플라즈마 중합법에 의한 스티렌 박막의 분자 구조 및 분자량 제어에 관한 연구

  • 김종택 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 최충양 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 박종관 (유한전문대학 정보통신과) ;
  • 박응춘 (오산전문대학 전기공학과) ;
  • 이덕출 (인하대학교 전기공학과)
  • Published : 1997.08.01

Abstract

The plasma polymerized styrene films were prepared by using an inter-electrode capacitively coupled gas-flow-type reactor, and the effects of plasma polymerization condition on the molecular weight distribution were investigated by Fourier Transform Infrared (FT-IR), Pyrolysis Gas Chromatography(PyGC), Differential Scanning Calorimetry(DSC) and Gel Permeation Chromatography(GPC). From the above results, the very cross-linked films different from chemical characteristics of the starting monomer were taken out, and it is realized that the molecular structure, cross linking density, and molecular weight distribution could be controlled by changing the parameters such as deposition pressure, deposition power and gas flow rate. Accordingly, it is suggested that plasma polymerization method performed by inter-electrode capacitively coupled gas-flow-type reactor has good characteristics for manufacturing the functional organic thin films which can be applied in sensors, opto-electric device, photo-resist by changing the polymerization parameters.

본 연구에서는 내전극 정전결합 유동가스형 반응장치를 이용하여 플라즈마 중합 스 티렌 박막을 제작하고 적외선분광스펙트럼, 열분해가tm크로마토그래피, 시차주사열량계 및 겔투과성 크로마토그래피의 분석을 통하여 중합조건이 분자구조 및 분자량 분포에 미치는 영향을 조사하였다. 위의 결과로부터 개시 모노머의 화학적 특성과는 다른 고도로 가교된 박막이 생성되었으며, 방전압력, 방전전력 및 가스의 유량 등의 중합조건 조절에 의해 분자 구조, 가교도, 분자량 분포 등의 제어가 가능함이 판명되었다. 따라서 내전극 정전결합 유동 가스형 반응장치에 의해 수행된 플라즈마중합법은 중합조건의 조절에 의해 센서의 감지막, 광도전성 소자 및 포토 레지스트 등에 응용가능한 기능성 유기박막의 제작에 좋은 특성을 나타내는 것을 알 수 있었다.

Keywords

References

  1. プラズマ重合による機能性有機薄膜 森田愼三
  2. Pure & Appl. Chem. v.57 no.9 Application of Plasma Polymerization Shinzo Morita;Shuzo Hattori
  3. Solid State Technol. v.27 no.2 Practical Aspect of microgabrication in 100 nm region D. P. Kern;P. J. Coane;T. H. P. Chang
  4. 超LSI時代のプラズマ 化學 電子材料 偏執部
  5. Proceedings of the 3rd ICPADM Functional Plasma-polymerized Tihn Films Prepared by a New Type of Reactor S. Morita;D. C. Lee
  6. 高機能性高分子材料電子材料 鈴木技術士事務所
  7. 대한전기학회 하계학술대회 논문집 플라즈마중합법에 의해 제작된 폴리스티렌의 레지스트특성조사 이덕출외 5
  8. J. vac. Sci. Technol. v.15 no.3 Structure Characterization of Plasma-Polymerized Hydrocabons J. M. Tibbitt;M. Shen;A. T. Bell
  9. プラズマ材料科學ハンドブッグ 入山裕
  10. Polym. Eng. Sci. v.20 Feit(Ed.);L. E. Still wagon
  11. Plasma Polymerization and Plasma Treatment of Polymers H. K. Yasuda
  12. J. Electrochem. Soc. High resolution electron beam negative resist with very narrow molecular weight distribution K. Itaya;K. Shibayama;T. Fujimoto
  13. 한국전자 전기재료학회, 춘계학술대회논문집 CO₂캐리어가스가 플라즈마 중합막에 미치는 영향 이덕출외 5