ICROS (제어로봇시스템학회지)

Institute of Control, Robotics and Systems (제어로봇시스템학회)
권호 표지

반도체 장비용 공정제어기의 구조 및 기능

  • Published : 1997.03.01
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Abstract

현재 국내에서 반도체 장비용 공정제어기의 개발에 관심이 고조되고 있는 시점에서, 본 고에서는 반도체 장비용 공정제어기가 갖추어야 될 구조와 기능을 상용 제품의 기술검토를 통하여 정리해 보고 저자연구실에서 수행되고 있는 연구사례를 소개한다.

Keywords

References

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