전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

레이저 어블레이션에 의한 강유전체 박막의 제작 및 응용 - 전기재료 기술

  • 박창엽 (연세대 공대 전기공학과) ;
  • 이상렬 (연세대 공대 전기공학과)
  • Published : 1997.04.01
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Abstract

본고에서는 현재까지 연구되어온 강유전 박막 물질과 이들의 응용분야들을 개관하고, 또한 비교적 최근에 강유전체 박막 형성에 적용된 pulsed laser deposition(PLD)법을 소개하고, 이를 이용한 강유전체 박막의 제작 및 응용에 대한 연구 동향을 고찰하고자 한다.

Keywords