MEMS97' 참관기

  • Published : 1997.03.01

Abstract

이상에서 MEMS97' 학회의 개략적인 내용을 간략히 살펴보았다. 전체적으로 MEMS97' 학회에 참석하여 받은 개인적인 느낌은, 대부분의 연구자들이 Si 공정을 소자나 구조물의 제작에 가장 필수적인 공정으로 이용하고 있으며 MEMS에 이용되는 Si 공정이 이제는 비교적 안정적이고 표준화된, 그래서 그 공정 자체에 대해서는 전혀 새로운 이야기를 할 필요가 없는 공정으로 자리잡아 가고 있다는 것이다. 이러한 점은 국내의 MEMS 연구자들이 깊이 생각해 보아야 할 점으로 생각되며, 앞으로 MEMS 관련 연구자들이 국내의 MEMS 연구를 어떤 방향으로 이끌어 가야 할 것인가, 혹은 우리 실정에서 어떤 방법이 가장 효율적인 연구 방법이 될 수 있을 것인가 등의 방법론적인 문제들을 깊이 있게 생각하고 토의할 필요가 있을 것이라고 판단된다. 다른 무엇보다도 MEMS 학회에서 발표하는 연구자의 수, 논문의 수가 훨씬 더 많아질 수 있도록 모든 연구자들이 혼신의 힘을 다하는 것이 가장 중요한 과제일 것이다.

Keywords