센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제6권5호
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- Pages.400-406
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- 1997
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
알루미늄산화막을 매개층으로 이용한 백금 미세발열체의 특성
The Characteristics of Pt Micro Heater Using Aluminum Oxide as Medium Layer
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Chung, Gwiy-Sang
(Div. of Electronic and mechanics Eng., Dongseo University) ;
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Noh, Sang-Soo
(Div. of Electronic and mechanics Eng., Dongseo University) ;
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Choi, Young-Kyu
(Div. of Electronic and mechanics Eng., Dongseo University) ;
- Kim, Jin-Han (Pusan Regional Small & Medium Business Office)
- 발행 : 1997.09.30
초록
DC 마그네트론 스퍼터링 반응성 스퍼터링으로 각각 증착된 알루미늄산화막과 그 위에 증착된 Pt 박막의 열처리 온도에 따른 전기적, 물리적 특성을 4침 탐침기, 주사전자현미경 및 X선 회절법을 이용하여 분석하였다.
The electrical and physical characteristics of aluminum oxide and Pt thin films on it, deposited by reactive sputtering and DC magnetron sputtering, respectively, were analyzed with increasing annealing temperature(
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