산업기술연구 (Journal of Industrial Technology)
- 제16권
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- Pages.157-168
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- 1996
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- 1229-9588(pISSN)
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- 1598-1371(eISSN)
증착 구간에서의 온도 제어에 따른 SiO2 초미립자의 증착 특성 고찰
A Study on the Deposition Characteristics of Ultrafine SiO2 Particles by Temperature Control in Deposition Zone
초록
The deposition characteristics of ultrafine
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