한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Field terminator를 이용한 CMA 제작에 관한 연구

The Study on CMA using field terminator

  • 발행 : 1996.12.01
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초록

Field terminator를 이용하여 singl path cylindrical mirror analyser를 제작하였다. 먼저 컴퓨터 모의실험을 바탕으로 CMA의 원통형 전극양단에서 fringing field effect를 최소로 하여 log-scale의 등전위면을 그대로 유지하는 terminator의 전압비와 위치 등을 구하였다. 계산된 전압을 직렬로 연결된 금속산화물저항으로 만든 voltage divider로 field terminator에 직접 인가하여 CMA의 fringing field effect를 줄이는 방법으로 개발하였다. 이 방법으로 제작된 CMA의 분해능이 $\Delta$E/E=0.4% 이상임을 확인하였다.

We constructed a single path cylindrical mirror analyser(CMA) using field terminator methods. With computer simulation, the best fit voltage ratio and position of the field terminaor was determined with maintain log-scale equipotential line near both end of the CMA. Then we construct field terminator with voltage divider of metal-oxide resisters which reduces the fringe field effect. The resolving power of the CMA was better than $\Delta$E/E=0.4%.

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