Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Establishment of Low Vacuum Standard in the 1 to $1~10^5$ Pa Range

$1~10^5$ Pa 영역의 저진공 표준 확립

  • 홍승수 (한국표준과학연구원 압력진공그룹) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 압력진공그룹) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 압력진공그룹)
  • Published : 1996.09.01
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Abstract

The Ultrasonic Interferometer Manometer(UIM) which can calibrae from1 Pa to $10^5$Pa has been developed, and its uncertainty is evaluated less than $\pm$(30ppm of pressure+12mPa). We can calibrate Capacitance Diaphragm Gauge(DCG) used as a transfer standard gauge in the low vacuum field. TheUIM enables to maintain the measurement traceability for industries. In order to improve the UIM's accracy, we will perform the international intercomparison withother national standards laboratories.

Keywords

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